Машина для нанесения PVD-покрытий STATON OCTOARC Arc 300 (Словакия)
Технические характеристики установки для нанесения PVD покрытия
Модель |
OCTOARC Arc300 |
Размеры оборудования в мм |
(Д х Ш х В) 3800 x 1500 x 2000 |
Активный объем плазмы в мм |
d500 x 300 |
Катоды fsARC® |
3 – 5 |
Блок питания ARC |
До 200 A |
Типы газа |
Ar, N2, C2H2, O2 |
Основное электропитание |
50[кВт]/ 3x400 [В]/ 50 [Гц] |
Кол-во сателлитов на столе подложки с 1 уровнем |
8 x d130 мм |
Масса загрузки |
150 кг |
Опции |
|
Магнетроны постоянного тока/ HiPIMS (опция) с размерами, в мм |
2 254 x 127 x 12 |
Источник питания магнетрона постоянного тока (опция) Блок питания HiPIMS (опция) |
5 – 10 [кВт] 1 – 2 [МВТ] |
Максимальная вместимость вращающихся инструментов: |
|
Концевые фрезы d20 x 150 мм |
112 |
Вставки 15x15x5 мм |
1768 |
Основные типы покрытий, наносимых с помощь OCTOARC Arc300/700
Компания Staton предлагает несколько различных PVD покрытий, специально разработанных для различных применений. Твердые PVD покрытия снижают износ и трение и, таким образом, повышают производительность, срок службы инструмента и качество обработки.
Система нанесения покрытий OCTOARC отличается высокой гибкостью, и ее конструкция может быть легко изменена в соответствии с индивидуальными требованиями заказчика. Базовая версия системы OCTOARC предлагается с пятью усовершенствованными катодами для дугового испарения fsARC®. Также возможна поставка в комбинации с прямоугольными катодами для магнетронного распыления. Таким образом, система предоставляет широкие возможности для комбинирования многокомпонентных покрытий из чистых элементарных мишеней (например, 5 ARC и 2 постоянного тока/HiPIMS) в соответствии с потребностями любого клиента, например, Ti, Al, Cr, Nb, Ta, Mo, W, Si и соответствующие осаждения нитридов, карбидов или оксидов.
Вид на вакуумную камеру с инструментами с нанесенным покрытием в системе OCTOARC ARC300, катод fsARC® на заднем плане.
Система OCTOARC – Функциональные особенности
- Передовая система для нанесения PVD покрытий с высокой скоростью нанесения
- Широкий ассортимент твердых PVD покрытий превосходного качества без смены катодов (CrN, TiN, TiAlN, TiAlCrN, TiAlSiN, TiSiN, CrAlN, ZrN, моно-, мульти-, нанопокрытие и т.д.) - защита от износа поверхностей режущих и формующих инструментов и значительное продление срока службы
- Нанесение покрытий при температуре ниже 200°C с минимальным количеством капель (с использованием фильтрованного ARC)
- Вспомогательный катод для интенсивной очистки подложки и предварительной обработки для исключительной адгезии покрытия
- STATON® быстрый и управляемый ARC-катод (fsARC®) с использованием решений для минимизации капель в нанесенной пленке.
- Дополнительные магнетроны (опция)
- Гибкая конструкция системы
- Источники питания дуги постоянного/импульсного тока
- Источники питания магнетрона постоянного тока и HiPIMS (магнетронное распыление импульсами высокой мощности) (опция)
- Источники питания постоянного и импульсного тока (опция) с расширенным управлением дугой
OCTOARC ARC300/ARC700 - Покрытия |
|||||
Тип покрытия |
Твердость [ГПа] |
Температура [°C] |
Толщина [мкм] |
Коэффициент трения |
Термо-стойкость[°C] |
CrN |
21 |
300-500 |
1 – 4 |
0.60 |
700 |
TiN |
23 |
300-500 |
1 – 4 |
0.40 |
500 |
TiCN |
27 |
300-500 |
1 – 4 |
0.20 |
450 |
TiAlN |
32 |
300-500 |
1 – 4 |
0.50 |
900 |
TiAlCN |
29 |
300-500 |
1 – 4 |
0.40 |
500 |
KTRN I. |
34 |
350-500 |
1 – 4 |
0.40 |
900 |
KTRN II. |
34 |
350-500 |
1 – 4 |
0.40 |
1000 |
AlTiCrN |
34 |
400-500 |
1 – 4 |
0.50 |
950 |
CRONAL |
30 |
300-500 |
1 – 4 |
0.50 |
1050 |
SICRAL |
37 |
400-500 |
1 – 4 |
0.45 |
1000 |
CALCRONIS |
37 |
400-500 |
1 – 4 |
0.45 |
950 |
TiSiN |
38 |
400-500 |
1 – 4 |
0.50 |
1100 |
Защитные покрытия наносятся с использованием нового модифицированного дугового испарителя fsARC®
Движение катодного пятна на поверхности мишени контролируется с помощью модифицированного дугового испарителя.
В настоящее время система OCTOARC поставляется с новым модернизированным дуговым катодом fsARC®, с улучшенным контролем движения катодного пятна. Основное преимущество модифицированного катода fsARC® заключается в устранении образования крупных микрокапель, которые обычно образуются при работе дуги на поверхности испаряемой мишени. Получаемые покрытия более гладкие и лучшего качества по сравнению с обычными дуговыми покрытиями, содержащими значительное количество капельной фракции. Исключение образования крупных микрокапель является основным условием комбинирования методов нанесения (дугового испарения и магнетронного распыления) в одном процессе. Это также дает возможность использования технологии HiPIMS для нанесения покрытий с лучшими свойствами и характеристиками.
Покрытия TiN, полученные при одинаковых условиях осаждения с использованием стандартной технологии дуги (слева) и с использованием новой модифицированной катодной системы fsARC® (справа).